層流壓差流量計是基于哈根泊肅葉定律設計的,可以任意切換多種氣體,無需轉換系數。該定律描述了在溫度、管徑等參數一定的情況下,圓管內的不可壓縮流體是層流運動狀態(tài)時,體積流量與壓降線性相關。通過讀取層流元件兩端的壓差信號,計算出體積流量,再對該體積流量進行壓力和溫度修正,從而獲得標準體積流量和質量流量。
在相同的溫度和管徑下,氣體的體積流量與氣體的壓差和粘度呈線性關系。因此,通過對氣體粘度的測量和控制,可以得到無換算系數的氣體體積流量。層流壓差質量流量計的響應時間關鍵在于層流元件兩端壓差信號的獲取速度,而這個時間取決于壓力波的傳播速度(壓力波是聲波的一種),因此其的響應時間快。
層流壓差流量計應用領域:
1、精密部件的密封性測試和尺寸精密測量
用于閥門等機械構件氣密性指標的氣體泄漏量精密測量,以及小孔尺寸和過濾材料透氣性等的測量。
2、化工石油等流程工業(yè)
用于微型反映試驗裝置中微小氣體流量的測量和控制。
3、表面處理
用于真空鍍膜、汽車玻璃鍍膜、自動化噴漆、等離子體噴涂中氣體的精密測量和控制。
由于層流壓差質量流量計可以應用于低壓氣體以及低壓液體的測量和控制,性能比較突出,因此在制造業(yè)中應用非常廣泛。
4、半導體行業(yè)
用于擴散、氧化、外延、等離子刻蝕、濺射、氣相沉積等工藝設備中,測量和控制工藝氣體流量。
5、食品、生物行業(yè)
用于生產過程中的滅菌工藝、配料、配氣、排氣檢測及生物反應器等流量測控。
6、分析儀器采樣器測量
用于氣相色譜儀和環(huán)境保護等分析儀器氣體取樣量或大氣采集量的精密測量。