近日，易度儀器收獲喜訊，其自主研發(fā)的通用型層流質(zhì)量流量計(jì)系列產(chǎn)品，通過中國計(jì)量科學(xué)研究院的計(jì)量器具型式評(píng)價(jià)試驗(yàn)，獲得中國..層流質(zhì)量流量計(jì)計(jì)量器具型式批準(zhǔn)資質(zhì)證書（簡稱CPA證書）。產(chǎn)品精度達(dá)到國家可批準(zhǔn).高級(jí)別1.0級(jí)，重復(fù)性0.1%，響應(yīng)時(shí)間0.01S。

一直以來，小微氣體、液體流量的測量和控制被西方發(fā)達(dá)國家技術(shù)壟斷，這項(xiàng)技術(shù)在眾多制造領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術(shù)。易度儀器層流質(zhì)量流量計(jì)的研發(fā)和誕生，是公司博士、碩士組成的高素質(zhì)創(chuàng)業(yè)骨干，聯(lián)合國內(nèi)..的..學(xué)者等組成研發(fā)團(tuán)隊(duì)，面對(duì)國外技術(shù)，自2011年以來恪守流體測控領(lǐng)域，自主創(chuàng)新，不懈努力的結(jié)晶。

苦心孤詣：七年研發(fā)，挑戰(zhàn)世界難題

2011年，這個(gè)以“80后"為主力軍的研發(fā)團(tuán)隊(duì)開始向國外技術(shù)發(fā)起挑戰(zhàn)，當(dāng)時(shí)國外進(jìn)口的設(shè)備獨(dú)步天下，相關(guān)技術(shù)也被西方發(fā)達(dá)國家壟斷，國內(nèi)只有個(gè)別廠商可以生產(chǎn)一些低端產(chǎn)品，精度低，重復(fù)性差，只能配套于低端產(chǎn)業(yè)，由于缺乏核心傳感器技術(shù)，即便拆開了國外的設(shè)備，也難以突破。無數(shù)事實(shí)表明：試圖通過仿制國外產(chǎn)品的路是走不通的。從研發(fā)一開始，易度團(tuán)隊(duì)就清醒地認(rèn)識(shí)到，精密儀器屬于技術(shù)密集型產(chǎn)品，只有通過自主創(chuàng)新，遵循“概念論證"——“關(guān)鍵技術(shù)驗(yàn)證"——“方案驗(yàn)證"——“原理樣機(jī)"——“工程樣機(jī)"——“產(chǎn)品樣機(jī)"——“產(chǎn)品"的技術(shù)路線，才能真正掌握技術(shù)，研發(fā)出高精尖的產(chǎn)品。

這一技術(shù)路線耗時(shí)之長、成本之高、風(fēng)險(xiǎn)之大，他們中很多人放棄了高薪的工作、舒適的生活，有家人的不理解，也有周圍人的嘲笑。當(dāng)時(shí)在微流量測量領(lǐng)域擺在研發(fā)團(tuán)隊(duì)面前的有兩條技術(shù)方向：一是以傳熱學(xué)原理為基礎(chǔ)的熱式質(zhì)量流量計(jì)，主要由歐美日的六七家公司占據(jù)全球絕大部分市場，是技術(shù)的主流，技術(shù)成熟度較高，但國內(nèi)一直無法掌握熱式傳感器這一技術(shù)核心；另外一條是以“哈根泊肅葉定理"為基礎(chǔ)的層流質(zhì)量流量計(jì)，其核心的層流傳感器研發(fā)由于技術(shù)難度更高，制造工藝極為復(fù)雜，讓那些生產(chǎn)熱式質(zhì)量流量計(jì)的國際..廠商也望而卻步。幾十年來，全球范圍內(nèi)..取得重大層流技術(shù)突破的只有一家美國公司，但離實(shí)現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)應(yīng)用還有不小的距離。

最終，考慮到熱式技術(shù)已趨于成熟，發(fā)展空間趨于飽和，在充分調(diào)研后，這群80后“初生牛犢，擁有廣闊技術(shù)發(fā)展空間，但技術(shù)門檻更高的層流質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)路線，開始專注于攻克核心技術(shù)——“通用型層流傳感器"的研發(fā)。

獨(dú)立自主：攻克核心，成就中國..

毫不夸張地說，一個(gè)國家微流體測控水平的高低，決定著制造業(yè)水平的高低。小微流量測控領(lǐng)域通常測量范圍在0.0001ml/s~100000ml/s，跨度范圍超過9個(gè)數(shù)量級(jí)，而每次測量響應(yīng)速度要小于0.01s，連續(xù)兩次測量的相對(duì)誤差小于千分之一，技術(shù)難度可想而知。

易度團(tuán)隊(duì)歷時(shí)七年苦心孤詣的研究，從2013年..款層流傳感器原理驗(yàn)證機(jī)的誕生，到2014年..代控制板原理驗(yàn)證機(jī)的研發(fā)，2015年底..臺(tái)層流質(zhì)量流量計(jì)工程樣機(jī)的研發(fā)成功，一直到2017年6月，..代層流質(zhì)量流量計(jì)的問世，2018年底順利通過國家計(jì)量院的型式評(píng)價(jià)認(rèn)證。這其中沒有現(xiàn)成的經(jīng)驗(yàn)可以借鑒，所有的工作都要從零開始，一遍一遍地設(shè)計(jì)，一次一次地試驗(yàn)，失敗了，重新開始，重新改進(jìn)，研發(fā)過程是痛苦的，但值得驕傲的是，易度團(tuán)隊(duì)堅(jiān)持了下來，啃下了一個(gè)個(gè)硬骨頭，并掌握了這項(xiàng)核心技術(shù)，成就了今天的產(chǎn)品。

目前該項(xiàng)技術(shù)已獲國家發(fā)明..兩項(xiàng)，同時(shí)在全球PCT檢索中具有新穎性。在國內(nèi)，也只有易度公司掌握了通用型層流測控技術(shù)，產(chǎn)品經(jīng)過國家.高機(jī)構(gòu)的驗(yàn)證，成為中國..通過認(rèn)證的通用型層流質(zhì)量流量計(jì)生產(chǎn)商。

永無止境：高效專注 增添中國力量

易度儀器成功研發(fā)出的層流質(zhì)量流量計(jì)和控制器，不僅能實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體和液體質(zhì)量流量的測量，還能精準(zhǔn)控制，是國內(nèi)..款自主研發(fā)的層流原理數(shù)字化產(chǎn)品。經(jīng)過無數(shù)次技術(shù)改進(jìn)，產(chǎn)品正日趨成熟，實(shí)現(xiàn)了在-20℃到60℃環(huán)境下的正常使用，精度控制在1.0級(jí)以內(nèi)，重復(fù)性0.1%，響應(yīng)時(shí)間達(dá)到0.01S。

聚焦用戶過程控制，半導(dǎo)體300多項(xiàng)關(guān)鍵工藝中，有光刻、氣相沉積、單晶生產(chǎn)等超過70%的工藝項(xiàng)點(diǎn)都與微流量測量相關(guān)；石墨烯等新材料的生產(chǎn)制造過程中，.常用的方法增強(qiáng)等離子的化學(xué)氣相沉積，也需要精準(zhǔn)配給氣體和液體；等離子體發(fā)動(dòng)機(jī)作為未來航天發(fā)展方向，在生產(chǎn)制造工藝和地面測試環(huán)節(jié)，需要測量小于1ml/min稀有氣體的質(zhì)量流量，這是等離子體發(fā)動(dòng)機(jī)穩(wěn)定工作的關(guān)鍵測試工藝。

近五年，全球微流量測量領(lǐng)域業(yè)務(wù)每年以30%的速度迅猛增長，隨著以芯片制造、生物醫(yī)藥、新材料、3D打印和微納制造為代表的新興制造業(yè)的迅猛發(fā)展，更加精細(xì)化的制造工藝對(duì)微流量測量控制儀器提出了更高要求。在當(dāng)前國家大力發(fā)展制造業(yè)的背景下，易度儀器有責(zé)任也有信心繼續(xù)精鉆技術(shù)，專注流體測控領(lǐng)域，解決微流量測控領(lǐng)域難題。